產(chǎn)品中心
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產(chǎn)品分類CLASSIFICATION
高真空水冷熱蒸發(fā)鍍膜儀,鎢絲籃(或鎢舟)用作蒸發(fā)源,并且樣品臺(tái)和蒸發(fā)源之間的距離是可調(diào)的。 該儀器可以穩(wěn)定地蒸發(fā)金屬和某些有機(jī)物。 采用高真空不銹鋼腔體,密封性能好,真空性能好。 該腔室配有觀察窗,因此可以看到涂層過(guò)程。 采用分子泵系統(tǒng)的最大真空10E-5Pa,可有效提高涂層質(zhì)量,并能滿足大多數(shù)蒸發(fā)涂層實(shí)驗(yàn)所需的真空環(huán)境
多源真空蒸發(fā)鍍膜儀還適用于對(duì)氧敏感的金屬薄膜(如Ti、Al、Au等)的蒸鍍,也適用于各種氧化物材料的蒸鍍
本產(chǎn)品為桌面型雙源蒸發(fā)鍍膜儀,設(shè)備安裝有兩套蒸發(fā)源,各蒸發(fā)源分別供電,可交替開(kāi)啟也可同時(shí)開(kāi)啟;每個(gè)蒸發(fā)源可提供最大100A的鍍膜電流,最大蒸發(fā)溫度可達(dá)1800℃,能夠滿足各種常見(jiàn)金屬的蒸鍍及部分非金屬蒸鍍
多源高真空蒸發(fā)鍍膜儀設(shè)備采用前開(kāi)門式真空腔體設(shè)計(jì),腔體空間大,可拓展性強(qiáng),能夠滿足多樣式大尺寸樣品的蒸發(fā)鍍膜。腔體內(nèi)配有上置樣品臺(tái),可根據(jù)用戶樣品樣式選取夾持或卡位式樣品安裝部件。
桌面型有機(jī)源蒸發(fā)鍍膜儀的物理過(guò)程主要包括材料的蒸發(fā)、氣態(tài)粒子的輸運(yùn)以及在基底上的沉積成膜。在蒸發(fā)過(guò)程中,材料需要獲得足夠的熱能以克服分子間的結(jié)合能,從而轉(zhuǎn)變?yōu)闅鈶B(tài)分子并從蒸發(fā)源表面逸出 。這些氣態(tài)粒子在輸運(yùn)過(guò)程中基本上無(wú)碰撞地直線飛行到基底表面,并在那里凝聚形核生長(zhǎng)成固相薄膜。
高真空雙源熱蒸發(fā)鍍膜儀適用于蒸發(fā)涂覆大多數(shù)金屬和某些有機(jī)材料薄膜。 該儀器可以穩(wěn)定地蒸發(fā)金屬和某些有機(jī)物。 采用高真空不銹鋼腔體,密封性能好,真空性能好。
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