簡單介紹：

1200℃ 真空RTP退火爐是一款12寸片快速退火爐，采用革新的加熱技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)真正的基底溫度測量，不需要采用傳統(tǒng)快速退火爐的溫度補(bǔ)償，溫度控制**，溫度重復(fù)性高，客戶包括國際上許多半導(dǎo)體公司及科研團(tuán)隊(duì)，是半導(dǎo)體制程退火工藝的理想選擇

詳情介紹：

• 一些高溫陶瓷材料的燒結(jié)后處理可以使用 1200℃RTP 退火爐。例如，氧化鋁（Al?O?）陶瓷在燒結(jié)過程中可能會(huì)出現(xiàn)殘余應(yīng)力，1200℃快速退火能夠有效消除這些殘余應(yīng)力，提高陶瓷材料的機(jī)械性能，如強(qiáng)度和韌性。同時(shí)，對(duì)于含有添加劑的陶瓷材料，退火過程還可以促進(jìn)添加劑在陶瓷基體中的均勻分布，進(jìn)一步改善陶瓷的性能。

• 在某些金屬合金的熱處理中，1200℃RTP 退火爐也有應(yīng)用。例如，對(duì)于一些高溫合金，在熔煉和成型后，1200℃的快速退火可以調(diào)整合金的組織結(jié)構(gòu)，細(xì)化晶粒，提高合金的高溫性能，如高溫強(qiáng)度和抗蠕變性能。

技術(shù)特色：

• 真正的基片溫度測量，無需傳統(tǒng)的溫度補(bǔ)償

• 紅外鹵素管燈加熱

• 極其優(yōu)異的加熱溫度**性與均勻性

• 快速數(shù)字PID溫度控制

• 不銹鋼冷壁真空腔室

• 系統(tǒng)穩(wěn)定性好

• 帶觸摸屏的PC控制

• 兼容常壓和真空環(huán)境，真空度標(biāo)準(zhǔn)值為5×10-3Torr，采用二級(jí)分子泵真空度低至5×10-6Torr

• *高3路氣體（MFC控制）

• 沒有交叉污染，沒有金屬污染

技術(shù)參數(shù)：