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桌面型磁控濺射鍍膜儀下置靶槍
簡要描述:

桌面型磁控濺射鍍膜儀下置靶槍是一種物理氣相沉積設備,廣泛應用于半導體、光電子、顯示技術和表面工程等領域。該設備采用磁控濺射技術,通過磁場增強離子化效率,從而實現(xiàn)高質(zhì)量、均勻的薄膜沉積。

  • 產(chǎn)品型號:CY-MSV325-II-DCDC-SS
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2025-11-16
  • 訪  問  量:320

詳細介紹

品牌其他品牌價格區(qū)間1-5萬
產(chǎn)地類別國產(chǎn)應用領域地礦,能源,建材/家具,電子/電池,鋼鐵/金屬

簡單介紹:

桌面型磁控濺射鍍膜儀下置靶槍是一種物理氣相沉積設備,廣泛應用于半導體、光電子、顯示技術和表面工程等領域。該設備采用磁控濺射技術,通過磁場增強離子化效率,從而實現(xiàn)高質(zhì)量、均勻的薄膜沉積。也可以在材料表面沉積具有特殊功能的薄膜,如在金屬材料表面沉積一層陶瓷薄膜,提高其抗腐蝕性能;在生物醫(yī)用材料表面沉積生物相容性薄膜,提高材料在生物體內(nèi)的適應性。

磁控濺射鍍膜儀產(chǎn)品特點:

高效鍍膜:采用磁控濺射技術,沉積速率高,薄膜均勻性好。

多功能應用:支持多種靶材和基材,適用于不同材料的薄膜沉積。

智能控制:配備控制系統(tǒng),實現(xiàn)精準的工藝參數(shù)控制。
模塊化設計:方便維護和升級,可根據(jù)需求定制各種功能模塊。

環(huán)境友好:低能耗設計,減少對環(huán)境的影響。

磁控濺射鍍膜儀技術參數(shù):

參數(shù)名稱

參數(shù)說明

產(chǎn)品名稱

桌面型磁控濺射鍍膜儀下置靶槍

產(chǎn)品型號

CY-MSZ254-I-DC-SS

真空腔

腔體材質(zhì)

304不銹鋼焊接而成,表面做拋光處理

取放模式

前開門方式取放樣品和靶材

觀察窗

直徑100mm真空窗口,配有磁力擋板,防止污染

樣品臺

樣品尺寸

直徑≦100mm的平面樣品均可

旋轉速度

不旋轉和旋轉型(0-30RPM)可選

加熱溫度

RT-500℃;RT-800℃;RT-1000℃可選

磁控靶

靶槍類型

普通永磁靶,可調(diào)角度

靶材尺寸

直徑2英寸,厚度≦3mm,

濺射功率

300W

濺射方式

直流濺射

工作真空

0.3-3Pa

電源

直流電源 300W *2

濺射氣體

高純氬氣,純度99.99%

真空測量

復合真空計,電阻規(guī)+電離規(guī),測量范圍:105-10-5Pa

真空獲取

前級泵

抽速 1.1L/S

分子泵

抽速  600L/S

膜厚測量

通常配CYKY膜厚測量儀

也可選配進口品牌,價格額外計算

外形尺寸

550mm*350mm*450mm

包裝尺寸

770×720*730mm

包裝重量

110 KG


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