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等離子測試系統(tǒng)
簡要描述：

本設(shè)備為客戶定制等離子測試設(shè)備。設(shè)備主要部件為一個電感耦合的等離子發(fā)生器，發(fā)生器能夠在電感線圈內(nèi)部的石英管內(nèi)產(chǎn)生等離子體，石英管兩側(cè)的法蘭配有觀察窗，用戶可以在觀察窗上觀察實驗現(xiàn)象或者用其他儀器測量相關(guān)參數(shù)。設(shè)備采用觸控屏控制，屏幕集成所有實驗功能，如抽放真空、流量控制、射頻電源調(diào)節(jié)等。同時電感線圈采用水冷設(shè)計，外殼另有散熱風(fēng)扇，保證了整套設(shè)備長時間工作的穩(wěn)定性。該設(shè)備是高校實驗室進(jìn)行等離子體相關(guān)性質(zhì)研究的儀器。

  • 產(chǎn)品型號：CY-PLT30-A
  • 廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
  • 更新時間：2025-11-16
  • 訪  問  量：278

詳細(xì)介紹

技術(shù)規(guī)格：

供電電壓

AC220V，50Hz

*大功率

1KW

耦合方式

電感耦合

石英腔體

O.Dφ30mm X 150mm   壁厚3.5mm

觀察窗尺寸

φ30mm

真空接口

KF16

進(jìn)氣口接口

6.35mm 卡套接頭 

質(zhì)量流量計

Ar標(biāo)定 量程100sccm

真空泵

雙極旋片真空泵

極限真空度

0.1Pa

冷卻方式

水冷銅管+風(fēng)冷殼體

射頻電源

*大輸出功率300W

自動匹配

頻率13.56MHz

整機(jī)尺寸

560mm X 620mm X 620mm


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