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產(chǎn)品型號(hào)：CY-EVZ195-I-H-SS-SJ廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家更新時(shí)間：2025-11-16訪 問 量：297產(chǎn)品分類CLASSIFICATION
詳細(xì)介紹
| 品牌 | CYKY | 價(jià)格區(qū)間 | 5萬(wàn)-10萬(wàn) |
|---|---|---|---|
| 產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子/電池,道路/軌道/船舶,鋼鐵/金屬,航空航天,汽車及零部件 |
本產(chǎn)品為桌面型水冷樣品臺(tái)蒸發(fā)鍍膜儀，設(shè)備安裝有鎢絲籃蒸發(fā)源，可提供*大100A的鍍膜電流，*大蒸發(fā)溫度可達(dá)1800℃，能夠滿足各種常見金屬的蒸鍍及部分非金屬蒸鍍。真空腔體采用不不銹鋼制作，配合分子泵組可達(dá)到5x10-5Pa極限真空，能夠滿足絕大部分材料蒸發(fā)所需的真空環(huán)境；同時(shí)設(shè)備采用高罐體及水冷樣品臺(tái)設(shè)計(jì)，能夠減少蒸發(fā)源對(duì)樣品的熱輻射，保證樣品的表面不超溫，維持在室溫水平，有效防止樣品被熱蒸發(fā)的高溫?fù)p壞，尤其適合對(duì)各種聚合物薄膜樣品進(jìn)行鍍膜。
產(chǎn)品名稱 | 桌面型水冷樣品臺(tái)蒸發(fā)鍍膜儀 | |
產(chǎn)品型號(hào) | CY-EVZ195-I-H-SS-SJ | |
樣品臺(tái) | 外形尺寸 | 直徑φ70mm |
可調(diào)溫度 | ≦500℃ | |
熱蒸發(fā)源 | 金屬蒸發(fā)源鎢舟1個(gè) | |
蒸發(fā)電源 | 每個(gè)蒸發(fā)源配一組獨(dú)立電源；三個(gè)蒸發(fā)源可同時(shí)共蒸 | |
真空腔體 | 腔體尺寸 | 直徑φ195mm，高度350mm |
觀察窗口 | 直徑φ60mm | |
腔體材質(zhì) | 304不銹鋼 | |
開啟方式 | 前開門式 | |
膜厚測(cè)量 | 晶體膜厚測(cè)量?jī)x（也可選膜厚控制儀） | |
真空系統(tǒng) | 前級(jí)泵 | 雙極旋片泵，氣體抽速1.1L/S |
次級(jí)泵 | 渦輪分子泵,氣體抽速600L/S | |
真空測(cè)量 | 復(fù)合真空計(jì)(電離規(guī)+電阻規(guī)) | |
系統(tǒng)真空 | 5×10-4Pa | |
控制系統(tǒng) | CYKY自研專業(yè)級(jí)控制器 | |
其他參數(shù) | 供電電源 | AC380V,50Hz |
整機(jī)尺寸 | 600mm×600mm×750mm | |
整機(jī)功率 | 1200W | |
整機(jī)重量 | 950kg | |
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