高真空晶圓RTP快速退火爐由我公司自主研發(fā)的功能*的加熱設(shè)備。該產(chǎn)品采用進(jìn)口紅外線加熱管加熱，造型新穎結(jié)構(gòu)合理，爐體和爐管可以自由滑動(dòng)，可實(shí)現(xiàn)快速升降溫。爐管尺寸210*650MM，可以直接放下8英寸的材料。試樣反應(yīng)區(qū)處在一個(gè)密閉的石英腔體內(nèi)，在完成生產(chǎn)工藝的同時(shí)，也大大降低了間接污染試樣的可能性

高真空晶圓RTP快速退火爐主要功能和特點(diǎn):

1、可視化7寸觸摸屏，設(shè)定數(shù)據(jù)和操作都是圖文界面，操作方便;
2、爐體配備高精度移動(dòng)平臺(tái)，運(yùn)行平穩(wěn)無抖動(dòng);
3、爐管可自由移動(dòng)，且密封法蘭之間用搭扣壓緊連接，放、取物料方便快捷，避免了螺栓密封人為操作導(dǎo)致漏氣的可能;減少了因安裝法蘭而造成加熱管損壞的可能;當(dāng)爐管移出爐膛時(shí)冷確風(fēng)扇啟動(dòng)，可實(shí)現(xiàn)試樣的迅速降溫，滿足材料驟冷驟熱的實(shí)驗(yàn)要求;
4、爐膛采用進(jìn)口多晶纖維真空吸附制成，采用進(jìn)口紅外線加熱管加熱，使用壽命可達(dá)5000小時(shí)，升溫速度快，*高溫度可達(dá)1050℃。
5、預(yù)留了真空、氣路快速接口，可配合我司真空系統(tǒng)、混氣系統(tǒng)使用;
6、預(yù)留了485轉(zhuǎn)換接口，可通過我司專用軟件，與計(jì)算機(jī)互聯(lián)，可實(shí)現(xiàn)單臺(tái)或者多臺(tái)電爐的遠(yuǎn)程控制、實(shí)時(shí)追蹤、歷史記錄、輸出報(bào)表等功能;
7、設(shè)置超溫報(bào)警并斷電，漏電保護(hù)，操作可靠。

RTP快速退火爐技術(shù)參數(shù)：