ZUI大熔煉重量（按鈦液計(jì)算）  

500g  

ZUI高加熱溫度  

2200  

懸浮電源  

ZUI大輸入功率  

90KW  

ZUI大輸出功率  

81KW  

采用電源  

IGBT懸浮專(zhuān)用電源  

振蕩頻率  

15-30KHZ（頻率自動(dòng)跟蹤）  

冷卻水要求  

電源≥0.2MPa                坩堝 ≥0.35MPa  

感應(yīng)線圈  

懸浮爐專(zhuān)用線圈  

輸入電壓  

三相380V   50 HZ  

融化速率  

10~15min  

坩堝  

懸浮專(zhuān)用水冷銅坩堝  

坩堝內(nèi)尺寸  

Dia50X60mm  

腔體內(nèi)尺寸  

Dia700X800  

腔體真空度  

< 5X10 ^-3Pa  

坩堝可傾倒旋轉(zhuǎn)角度  

0-360度 （可任意角度偏轉(zhuǎn)）  

真空腔體內(nèi)是否可接水冷坩堝  

可以  

觀察窗尺寸  

 Dia 90mm  

真空機(jī)組  

機(jī)組輸入電壓  

380V /220V  

波紋管  

KF40X1000  

真空擋板閥  

KF40  

分子泵  

（方案一）  

分子泵型號(hào)  

FF200/1200  

 輸入電壓  

220V  

 分子泵進(jìn)氣口法蘭  

 DN200  

分子泵抽氣速率L/S（對(duì)空氣）  

 1200  

分子泵極限壓強(qiáng)（Pa)  

6×10^-7  

冷卻方式  

水冷  

冷卻水壓（MPa）  

0.1-0.2  

冷卻水溫度  

<25℃  

環(huán)境溫度  

0~40℃  

建議啟動(dòng)壓強(qiáng)  

<100Pa  

     前機(jī)真空泵TRP-24  

功率  

1.5KW  

電壓  

220V  

轉(zhuǎn)速  

1390rpm  

進(jìn)氣口徑  

KF25/KF40  

前機(jī)泵抽氣速率（L/S）  

18  

極限壓強(qiáng)  

6X10 ^-2Pa  

擴(kuò)散泵TK150  

電壓  

220V  

功率  

1500W  

極限真空度（在無(wú)泄露時(shí)）  

10E-5  

進(jìn)氣接口  

DN150  

出氣接口  

DN40  

注入油量  

0.3L  

抽氣速率（N2）  

1500L/S  

復(fù)合真空計(jì)  

復(fù)合真空計(jì)型號(hào)  

ZDF  

電源  

220V   55W  

控制精度  

± 1%  

真空計(jì)測(cè)量范圍  

10^-5 -10 ⁵ Pa