3靶緊湊型磁控濺射鍍膜儀是一種三頭1“射頻等離子體磁控濺射系統(tǒng)，設(shè)計(jì)用于非金屬薄膜涂層，主要用于多層氧化物薄膜。緊湊型磁控濺射鍍膜儀是研究新一代氧化薄膜*具成本效益的涂膜機(jī)?？筛鶕?jù)金屬薄膜沉積要求選擇直流磁控濺射，可配置3個(gè)直流、1個(gè)射頻/ 2個(gè)直流和2個(gè)射頻/ 1個(gè)直流濺射頭。

產(chǎn)品型號(hào)：CY-MSH325-III-DCDCRF-SS
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
更新時(shí)間：2025-11-17
訪問量：714

產(chǎn)品咨詢聯(lián)系我們

產(chǎn)品分類CLASSIFICATION

相關(guān)文章ARTICLES

查看全部

詳細(xì)介紹

品牌	CYKY	價(jià)格區(qū)間	10萬-30萬
產(chǎn)地類別	國(guó)產(chǎn)	應(yīng)用領(lǐng)域	電子/電池,道路/軌道/船舶,鋼鐵/金屬,航空航天,汽車及零部件

3靶緊湊型磁控濺射鍍膜儀是一種三頭1"射頻等離子體磁控濺射系統(tǒng)，設(shè)計(jì)用于非金屬薄膜涂層，主要用于多層氧化物薄膜。緊湊型磁控濺射鍍膜儀是研究新一代氧化薄膜*具成本效益的涂膜機(jī)?？筛鶕?jù)金屬薄膜沉積要求選擇直流磁控濺射，可配置3個(gè)直流、1個(gè)射頻/ 2個(gè)直流和2個(gè)射頻/ 1個(gè)直流濺射頭。

緊湊型磁控濺射鍍膜儀應(yīng)用領(lǐng)域：

這款緊湊型3靶磁控濺射鍍膜機(jī)專為在氧化物單晶基板上涂覆氧化物薄膜而設(shè)計(jì)，通常不需要高真空設(shè)置。

3靶緊湊型磁控濺射鍍膜儀技術(shù)規(guī)格：

項(xiàng)目		明細(xì)
產(chǎn)品型號(hào)		CY-MSH325-III-DCDCRF-SS
供電電壓		AC220V，50Hz
整機(jī)功率		4KW
系統(tǒng)真空		≦5×10^-4Pa
樣品臺(tái)	外形尺寸	φ140mm
	加熱溫度	≦500℃
	控溫精度	±1℃
	可調(diào)轉(zhuǎn)速	≦20rpm
磁控靶槍	靶材尺寸	直徑Φ50.8mm，厚度≦3mm
	冷卻模式	循環(huán)水冷
	水流大小	不小于10L/Min
真空腔體	腔體尺寸	直徑φ325mm，高度500mm
	腔體材質(zhì)	SUU304不銹鋼
	觀察窗口	直徑φ100mm
	開啟方式	頂開式
氣體控制		1路質(zhì)量流量計(jì)用于控制Ar流量，量程為:200SCCM
真空系統(tǒng)		配分子泵系統(tǒng)1套，氣體抽速600L/S
膜厚測(cè)量		可選配石英晶體膜厚儀，分辨率0.10 ?
濺射電源		直流電源500W*2,射頻電源500W
控制系統(tǒng)		CYKY自研專業(yè)級(jí)控制系統(tǒng)
設(shè)備尺寸		600mm × 650mm × 1280mm
設(shè)備重量		350kg

免責(zé)聲明：

本站產(chǎn)品介紹內(nèi)容(包括產(chǎn)品圖片、產(chǎn)品描述、技術(shù)參數(shù)等)，僅供參考?？赡苡捎诟虏患皶r(shí)，會(huì)造成所述內(nèi)容與實(shí)際情況存在一定的差異，請(qǐng)與本公司銷售人員聯(lián)系確認(rèn)。本站提供的信息不構(gòu)成任何要約或承諾，本公司會(huì)不定期*和修改網(wǎng)站任何信息，恕不另行通知。

產(chǎn)品咨詢

留言框

產(chǎn)品：
您的單位：
您的姓名：
聯(lián)系電話：
常用郵箱：
省份：
詳細(xì)地址：
補(bǔ)充說明：
驗(yàn)證碼：

請(qǐng)輸入計(jì)算結(jié)果（填寫阿拉伯?dāng)?shù)字），如：三加四=7

上一篇：CY-MSV300-I-DC-SS單靶直流磁控濺射鍍膜儀
下一篇：CY-MSZ180X-I-DC-SS桌面型靶下置型磁控鍍膜儀

亚洲 欧美 国产 制服 另类,久久se精品一区二区三区,色五月激情五月亚洲综合考虑,av在线不卡观看免费观看,av在线不卡观看免费观看

留言框

產(chǎn)品：

您的單位：

您的姓名：

聯(lián)系電話：

常用郵箱：

省份：

詳細(xì)地址：

補(bǔ)充說明：

驗(yàn)證碼：

亚洲欧美国产制服另类,久久se精品一区二区三区,色五月激情五月亚洲综合考虑,av在线不卡观看免费观看,av在线不卡观看免费观看