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桌面型不銹鋼腔體雙靶磁控鍍膜儀
簡要描述:

桌面型不銹鋼腔體雙靶磁控鍍膜儀,可用于金屬薄膜的制備,在電子領域、光學領域、特殊陶瓷制備等領域均有應用,也可實驗室SEM樣品制備

  • 產品型號:CY-MSZ210-I I -DCDC-SS
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2025-11-17
  • 訪  問  量:239

詳細介紹

品牌CYKY價格區(qū)間10萬-30萬
產地類別國產應用領域電子/電池,道路/軌道/船舶,鋼鐵/金屬,航空航天,汽車及零部件

本設備為桌面型不銹鋼腔體雙靶磁控鍍膜儀,可用于金屬薄膜的制備,在電子領域、光學領域、特殊陶瓷制備等領域均有應用,也可實驗室SEM樣品制備。  

本套配置采用高真空不銹鋼腔體,前開門式設計,門上配有石英觀察窗,便于實驗的觀察記錄。同時設備配有旋轉加熱樣品臺,可以有效提高薄膜的均勻性和成膜的質量。頂蓋上裝有一套擋板,可通過轉動擋板切換兩支靶,實現(xiàn)多層鍍膜。  

本設備需要配合高真空分子泵組一起使用,用戶可以選擇進口品牌小型分子泵以進一步節(jié)省安裝面積。同時該型號可選配膜厚儀組件,可實時監(jiān)測膜厚數(shù)據(jù),為實驗工藝提供可靠參數(shù)。

雙靶磁控鍍膜儀參數(shù):  


產品名稱  

桌面型不銹鋼腔體雙靶磁控鍍膜儀  

產品型號  

CY-MSZ210-I I -DCDC-SS  

樣品臺  

外形尺寸  

φ60mm  

加熱溫度  

500  

可調轉速  

20rpm  

磁控靶槍  

配兩支2英寸磁控靶,靶材尺寸:直徑50.8mm,厚度≦3mm  

真空腔體  

腔體尺寸  

φ210mm X260mm  

觀察窗口  

全向透明  

腔體材料  

304不銹鋼  

開啟方式  

上蓋拆卸式  

真空系統(tǒng)  

前級泵  

低噪音雙極旋片泵  

分子泵  

低噪音大抽速渦輪分子泵  

真空測量  

復合真空計,量程:10-5~105Pa  

抽氣接口  

KF16  

抽氣接口  

KF40  

排氣接口  

KF16  

系統(tǒng)真空  

1.0×10-4Pa  

供電電源  

AC 220V 50/60Hz  

抽氣速率  

分子泵抽速600L/s,前級泵抽速1.1L/s    

電源配置  

電源數(shù)量  

直流電源兩套  

輸出功率  

500W  

 

其他參數(shù)  

供電電壓  

AC220V,50Hz  

整機功率  

2kW  

整機尺寸  

550mm X 350mm X400mm  



桌面型不銹鋼腔體雙靶磁控鍍膜儀  

桌面型不銹鋼腔體雙靶磁控鍍膜儀  



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