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多源高真空蒸發(fā)鍍膜儀
簡要描述:

本設(shè)備為多源高真空蒸發(fā)鍍膜儀,設(shè)備采用前開門式真空腔體設(shè)計,腔體空間大,可拓展性強(qiáng),能夠滿足多樣式大尺寸樣品的蒸發(fā)鍍膜。腔體內(nèi)配有上置樣品臺,可根據(jù)用戶樣品樣式選取夾持或卡位式樣品安裝部件。

  • 產(chǎn)品型號:CY-EVH325-Ⅱ-HH-SS
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2025-11-17
  • 訪  問  量:350

詳細(xì)介紹

品牌CYKY價格區(qū)間10萬-30萬
產(chǎn)地類別國產(chǎn)應(yīng)用領(lǐng)域電子/電池,道路/軌道/船舶,鋼鐵/金屬,航空航天,汽車及零部件

本設(shè)備的蒸發(fā)源共兩組,采取鎢舟蒸發(fā)源,水冷式銅電極,可最大支持300A的大電流,加熱溫度最高可達(dá)1800℃,可實現(xiàn)多種難熔金屬的蒸鍍。本設(shè)備采用一體化設(shè)計,腔體和電控部分左右分置,實現(xiàn)了水電分離,有力的保證了用戶的需求。電控部分采用觸控屏和按鈕面板相結(jié)合的設(shè)計,真空系統(tǒng)、樣品臺等輔助功能通過觸控屏一鍵操作,通電蒸發(fā)、膜厚控制等通過面板獨(dú)立操作,在盡可能方便用戶的同時規(guī)避了誤操作的可能。該設(shè)備設(shè)計*性能,是實驗室高精度蒸發(fā)鍍膜試驗的之選。

多源高真空蒸發(fā)鍍膜儀技術(shù)參數(shù):

多源高真空蒸發(fā)鍍膜儀

型號

CY-EVH325-Ⅱ-HH-SS

樣品臺

尺寸

最大支持φ150mm樣品

高度

上下70mm可調(diào)

蒸發(fā)源

數(shù)量

鎢舟x2

真空腔體

腔體尺寸

φ325x600mm

觀察窗口

前置φ100mm

腔體材料

304不銹鋼

開啟方式

前開門式

膜厚控制

晶振式膜厚測量儀,可選多通道膜厚控制儀

真空系統(tǒng)

前級泵

雙極旋片泵

抽氣接口

KF16

次級泵

渦輪分子泵

抽氣接口

CF160

真空測量

電阻+電離 復(fù)合真空規(guī)

排氣速率

機(jī)械泵1.1L/s,分子泵600L/s

極限真空

1.0E-5Pa

供電電源

AC 220V 50/60Hz

抽氣速率

旋片泵:1.1L/S

控制系統(tǒng)

PLC自動控制  操作界面:觸控屏+操作面板

其他

供電電壓

AC380V,50Hz

整機(jī)尺寸

1000mmX900mmX1500mm

整機(jī)重量

350kg

整機(jī)功率

5kW


 


 



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