PECVD氣相沉積（等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積）是一種化學(xué)氣相沉積技術(shù)，在材料科學(xué)、半導(dǎo)體制造等眾多領(lǐng)域有廣泛的應(yīng)用。