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在芯片制造的微觀世界里,化學氣相沉積(CVD)設備堪稱一位精準的"鍍膜魔法師"——通過氣相化學反應,在硅片表面生長出僅有幾納米厚的功能薄膜。這項誕生于實驗室的技術,如今已成為半導體、光伏乃至LED產業(yè)的核心支柱?,F代CVD設備已發(fā)展出多元技術路線:等離子體增強CVD(PECVD)利用射頻能量激發(fā)反應氣體,在低溫下實現高質量薄膜沉積,特別適用于柔性電子和先進封裝;低壓CVD(LPCVD)則在接近真空...
以下是針對粉體包覆磁控鍍膜儀的詳細設計方案,涵蓋設備架構、關鍵模塊、工藝控制及創(chuàng)新點,適用于金屬、陶瓷、高分子粉體的功能性鍍膜(如導電、耐磨、防腐等):1.總體設計目標適用粉體:粒徑1μm-500μm(可擴展至納米級)鍍膜類型:金屬(Al,Cu)、氧化物(Al?O?,TiO?)、氮化物(TiN,CrN)核心指標:膜厚均勻性:±5%(粒徑>10μm時)包覆率:>95%(無裸露區(qū)域)產能:0.5-5kg/h(視粉體密度而定)2.設備核心模塊設計(1)粉體運動系統(tǒng)流化...
半導體等離子濺射鍍膜儀采用二級濺射方式,廣泛用于SEM樣品制備或金屬鍍膜試驗。采用低溫等離子體濺射工藝,鍍膜過程中無高溫,不易產生熱損傷。該小型等離子濺射儀使用PLC控制系統(tǒng),全部觸摸屏操作,便于學習使用。本型號儀器還配有旋轉樣品臺,能夠有效的提升鍍膜的均勻性。(本設備配有旋轉加熱樣品臺,可以提升鍍膜的均勻性和薄膜的附著力)該小型等離子濺射儀使用PLC控制系統(tǒng),全部觸摸屏操作,便于學習使用。工作原理:?等離子體激發(fā)?:通入氬氣(Ar)等惰性氣體,在電場作用下電離形成高密度等離...
真空程控型勻膠機是一種通過真空吸附基片、程序化控制轉速曲線實現液體/膠狀材料精密成膜的關鍵設備,廣泛應用于半導體、光電子等領域的薄膜制備?。真空程控型勻膠機工作時將樣品用粘接的方法固定在載樣盤上,然后開動勻膠機將設備轉數設置在一定的轉數范圍內,在此轉數范圍內設置一定的注膠時間對樣品進行注膠,注膠結束后勻膠機會提升轉數限轉數進行勻膠,在勻膠之前要對勻膠時間進行設置,當勻膠時間結束后機器自動停止運轉,涂膜的整個過程結束。產品優(yōu)點:75W直流無刷電機,單片機控制。高清晰文本顯示器。...
真空釬焊爐的溫度場模擬及工藝優(yōu)化是提升釬焊質量、減少變形和殘余應力的關鍵。以下是系統(tǒng)化的解決方案框架,涵蓋數值模擬方法、工裝設計優(yōu)化及工藝參數調控:1.溫度場數值模擬流程1.1模型建立幾何模型:包含爐膛、加熱元件、隔熱層、工件(母材+釬料)、工裝夾具。示例:航天鋁合金薄壁結構(如蜂窩板)需細化網格至釬料層(0.1-0.2mm)。材料參數:溫度依賴的熱物性參數(導熱系數、比熱容、密度)、輻射率(高溫下主導傳熱)。釬料熔化特性(固液相變潛熱、潤濕角模型)。1.2控制方程與邊界條件...
等離子清洗機的腔體設計是設備性能的核心,需綜合考慮等離子體均勻性、工藝穩(wěn)定性、維護便利性及安全性。以下是關鍵設計要點和方案:1.腔體結構設計幾何形狀:圓柱形腔體:常用,利于等離子體均勻分布,適合射頻(RF)或微波激發(fā)。矩形腔體:多用于大型或批量化生產,需配合多電極設計保證均勻性。特殊結構:如球形腔體(用于高均勻性要求)或環(huán)形腔體(適合連續(xù)處理)。尺寸優(yōu)化:根據工件尺寸和產能需求確定容積,避免過大(功率浪費)或過?。ㄌ幚聿痪?。示例:處理300mm晶圓時,腔體直徑需≥400mm...
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