1200℃單溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)由單溫區(qū)管式爐和三路浮子流量計組成。由精密控溫儀表進行PID控溫，可編輯30段升降溫程序，同時有過熱和斷偶保護功能。爐管兩側法蘭配有數(shù)字式真空計和機械式壓力表，可以用來控制路管內(nèi)的氣氛環(huán)境。

產(chǎn)品型號：CY-CVD1200-60-455-3TH-Q
廠商性質：生產(chǎn)廠家
更新時間：2025-11-16
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詳細介紹

品牌	其他品牌	產(chǎn)地類別	國產(chǎn)
應用領域	地礦,能源,電子/電池,鋼鐵/金屬,航空航天

1200℃單溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)采用全彩高清觸控屏操作，簡單易上手，即使是非專業(yè)人員經(jīng)過簡單的培訓也可以熟練掌握儀器的使用方法，能夠極大的提高您的實驗效率。系統(tǒng)所配有的三路浮子流量計，可以混合1~3路氣體，較為準確的配制出實驗所需的混合氣體；另有一壓力表安裝在浮子流量計正面，可以監(jiān)測氣體壓力及混合槽壓力。

適用于高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫燒結、金屬退火、質量檢測等，尤其適合需要多種氣體混合的氣氛環(huán)境的CVD實驗。

1200℃單溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)技術參數(shù)：

項目	明細
供電電壓	AC220V，50Hz
MAX功率	5KW
加熱溫區(qū)	455mm
工作溫度	1100℃ （1200℃＜1h）
控溫精度	±1℃
升溫速率	建議≤10℃/min
控溫方式	AI-PID 30段工藝曲線，可存儲多條三溫區(qū)獨立控制，帶有過熱和斷偶保護
爐管材質	高純剛玉
爐管尺寸	φ60mm O.D×1300mm L
氣體通道	三通道質量流量計
氣體量程	A：100sccm B：300sccm C：500sccm
系統(tǒng)真空	5~10Pa（如需更高真空度可以選配其他的泵）

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