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產(chǎn)品中心
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產(chǎn)品分類CLASSIFICATION
1500℃單溫區(qū)3路浮子供氣高真空CVD氣相沉積由1500℃單溫區(qū)管式爐、三路浮子流量計(jì)和高真空分子泵組組成。管式爐由精密控溫儀表進(jìn)行PID控溫，可編輯30段升降溫程序，同時(shí)有過熱和斷偶保護(hù)功能。1500℃單溫區(qū)高真空CVD系統(tǒng)爐管兩側(cè)法蘭配有數(shù)字式真空計(jì)和機(jī)械式壓力表，可以用來控制爐管內(nèi)的氣氛環(huán)境。
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