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產(chǎn)品型號(hào)：CY-MS500S-2TA1S廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家更新時(shí)間：2025-11-16訪 問 量：280詳細(xì)介紹
| 品牌 | 其他品牌 | 價(jià)格區(qū)間 | 5萬-10萬 |
|---|---|---|---|
| 產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 地礦,能源,建材/家具,電子/電池,鋼鐵/金屬 |
CY-MS500S-2TA1S雙靶磁控及蒸發(fā)復(fù)合鍍膜儀可用于電子產(chǎn)品、玻璃、陶瓷樣品、金屬等樣品的鍍膜。尤其適合實(shí)驗(yàn)室SEM（掃描電鏡）的樣品制備。
設(shè)備主要由不銹鋼真空腔體、磁控濺射靶，蒸發(fā)鍍膜裝置，放置樣品的樣品臺(tái)，真空泵機(jī)組、真空測(cè)量規(guī)管，進(jìn)氣系統(tǒng)和控制系統(tǒng)組成。
設(shè)計(jì)特色
1. 設(shè)備主機(jī)采用觸摸顯示屏操作，溫控表檢測(cè)。其數(shù)字化參數(shù)界面和自動(dòng)化操作方式為用戶提供了優(yōu)良的研發(fā)平臺(tái)。
2. 真空室采用下置靶設(shè)計(jì)，樣品臺(tái)具有加熱和旋轉(zhuǎn)但是功能，可以使鍍膜效果更加均勻。
3. 設(shè)備真空獲得系統(tǒng)采用兩級(jí)真空泵組，前級(jí)泵為大抽速機(jī)械泵，有效縮從常壓至低真空的時(shí)間，主泵為渦輪分子泵，抽速高，真空獲取速度更快。 整體真空獲得系統(tǒng)干凈快速。
4. 真空腔體采用304不銹鋼制成，配有觀察窗口及擋板。造型美觀做工精細(xì)，真空性能優(yōu)異。
5. 主要密封法蘭采用 CF系列高真空密封法蘭。真空腔體各接口均采用橡膠密封圈密封，真空性能優(yōu)良，能有效保證鍍膜質(zhì)量。
技術(shù)參數(shù)：
磁控濺射頭 數(shù)量 2英寸 x2 冷卻方式 水冷 蒸發(fā)系統(tǒng) 蒸發(fā)源 鎢絲籃 *高溫度 1800℃ 真空腔體 腔體尺寸 φ325mm X 600mm 觀察窗口 φ100mm 腔體材料 304不銹鋼 開啟方式 前開門式 真空系統(tǒng) 機(jī)械泵 旋片泵 抽氣接口 KF16 抽氣速率 1.1L/s 分子泵 渦輪分子泵 抽氣接口 CF150 抽氣速率 600L/s 排氣接口 KF40 真空測(cè)量 電阻規(guī)+電離規(guī) 極限真空 1.3x10-4Pa 供電電源 AC;220V 50/60Hz 電源配置 直流電源數(shù)量 1臺(tái) 輸出功率 ≤1500W 輸出電壓 ≤600W 響應(yīng)時(shí)間 ＜5ms 射頻電源數(shù)量 1臺(tái) 輸出功率 ≤1500W 功率穩(wěn)定度 ≤5W 射頻功率 13.56MHz 射頻穩(wěn)定度 ±0.005% 膜厚監(jiān)控系統(tǒng) 膜厚儀測(cè)量分辨率 ±0.03Hz 測(cè)量精度 ±0.5% 測(cè)量上限 50000 測(cè)量速度 100~1000ms 水冷系統(tǒng) 水箱容積 9L 流量 10L/min 供氣系統(tǒng) 流量計(jì)類型 質(zhì)量流量計(jì) 量程 200sccm 氣體類型 Ar氣 其他 供電電壓 AC220V,50Hz 整機(jī)功率 4kw（主機(jī)+真空泵） 整機(jī)尺寸 1000x950x1300mm 整機(jī)重量 295kg
樣式一：尺寸150mm，加熱溫度≤500℃ 控溫精度±1℃， 旋轉(zhuǎn)速度1-20r/min
樣式二：尺寸φ150mm，高度 上下70mm精準(zhǔn)可調(diào)，旋轉(zhuǎn)速度1~20rpm，加熱溫度 0~500℃
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