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雙靶高真空磁控等離子濺射鍍膜儀
簡要描述:

雙靶高真空磁控等離子濺射鍍膜儀緊湊型磁控濺射系統(tǒng),具有雙靶2“目標源,例如,一個直流源用于涂覆金屬薄膜,另一個射頻源用于涂覆非金屬材料。高真空磁控等離子濺射鍍膜儀設計用于涂覆單層或多層薄膜,適用于各種材料,如合金、鐵電、半導體、陶瓷、電介質(zhì)、光學、聚四氟乙烯等。

  • 產(chǎn)品型號:CY-MSH325- II-DCRF-SS
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2025-11-16
  • 訪  問  量:338

詳細介紹

品牌CYKY價格區(qū)間30萬-50萬
產(chǎn)地類別國產(chǎn)應用領域生物產(chǎn)業(yè),電子/電池,道路/軌道/船舶,鋼鐵/金屬,制藥/生物制藥

雙靶高真空磁控等離子濺射鍍膜儀緊湊型磁控濺射系統(tǒng),具有雙靶2"目標源,例如,一個直流源用于涂覆金屬薄膜,另一個射頻源用于涂覆非金屬材料。高真空磁控等離子濺射鍍膜儀設計用于涂覆單層或多層薄膜,適用于各種材料,如合金、鐵電、半導體、陶瓷、電介質(zhì)、光學、聚四氟乙烯等。

雙靶高真空磁控等離子濺射鍍膜儀主要特點:  

1、配置兩個靶槍,一個配套射頻電源用于非導電靶材的濺射鍍膜,一個配套直流電源用于導電性材料的濺射鍍膜。
2、可制備多種薄膜,應用廣泛。
3、體積小,操作簡便。  

磁控鍍膜儀的典型實用案例,涵蓋科研、工業(yè)及教學領域,體現(xiàn)其多功能性和廣泛應用價值:

1. 科研領域——納米光學薄膜制備

2. 電子行業(yè)——透明導電薄膜(ITO)鍍膜

3. 材料改性——刀具硬質(zhì)涂層(TiN

4. 教學演示——磁控濺射原理實驗

高真空磁控等離子濺射鍍膜儀技術規(guī)格:  

項目

明細

產(chǎn)品型號

CY-MSH325- II-DCRF-SS

供電電壓

AC220V,50Hz

整機功率

4KW

系統(tǒng)真空

5×10-4Pa

樣品臺

外形尺寸

φ140mm

加熱溫度

500℃

控溫精度

±1

可調(diào)轉速

20rpm

磁控靶槍

靶材尺寸

直徑Φ50.8mm,厚度3mm

冷卻模式

循環(huán)水冷

水流大小

不小于10L/Min

真空腔體

腔體尺寸

直徑φ325mm,高度500mm

腔體材質(zhì)

SUU304不銹鋼

觀察窗口

直徑φ100mm

開啟方式

頂開式

氣體控制

1路質(zhì)量流量計用于控制Ar流量,量程為:200SCCM

真空系統(tǒng)

配分子泵系統(tǒng)1套,氣體抽速600L/S

膜厚測量

可選配石英晶體膜厚儀,分辨率0.10 ?

濺射電源

直流電源500W,射頻電源500W

控制系統(tǒng)

CYKY自研專業(yè)級控制系統(tǒng)

設備尺寸

600mm   × 650mm × 1280mm

設備重量

350kg

































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