三靶等離子濺射鍍膜儀（基礎(chǔ)型），采用二級(jí)濺射方式，廣泛用于SEM樣品制備或金屬鍍膜試驗(yàn)。采用低溫等離子體濺射工藝，鍍膜過程中無高溫，不易產(chǎn)生熱損傷。

產(chǎn)品型號(hào)：CY-PLZ180-III-DC-Q
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
更新時(shí)間：2025-11-16
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詳細(xì)介紹

品牌	CYKY	濺射氣體	氬氣,氮?dú)?/td>
樣品臺(tái)尺寸	100mm	控制方式	PIC
樣品倉(cāng)尺寸	180mm	靶材尺寸	2mm
靶材材質(zhì)	金,銀，銅，鋁等	價(jià)格區(qū)間	1-5萬
產(chǎn)地類別	國(guó)產(chǎn)	應(yīng)用領(lǐng)域	電子/電池,道路/軌道/船舶,鋼鐵/金屬,航空航天,汽車及零部件

本型號(hào)小型等離子濺射儀，采用二級(jí)濺射方式，廣泛用于SEM樣品制備或金屬鍍膜試驗(yàn)。采用低溫等離子體濺射工藝，鍍膜過程中無高溫，不易產(chǎn)生熱損傷。該小型等離子濺射儀使用PLC控制系統(tǒng)，全部觸摸屏操作，便于學(xué)習(xí)使用。本型號(hào)儀器還配有旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)，能夠有效的提升鍍膜的均勻性。該小型等離子濺射儀使用PLC控制系統(tǒng)，全部觸摸屏操作，便于學(xué)習(xí)使用。設(shè)備體積小巧造型美觀，是實(shí)驗(yàn)室鍍膜試驗(yàn)的理想選擇。

三靶等離子濺射鍍膜儀（基礎(chǔ)型）技術(shù)參數(shù)：

產(chǎn)品名稱	三靶等離子濺射鍍膜儀（基礎(chǔ)型）
產(chǎn)品型號(hào)	CY-PLZ180-III-DC-Q
樣品臺(tái)	尺寸	100mm
樣品臺(tái)	到靶面距離	20~35mm高度可調(diào)
等離子濺射靶	數(shù)量	2英寸 x3
等離子濺射靶	冷卻方式	自然冷卻
真空腔體	腔體尺寸	φ180mm X 200mm
	觀察窗口	全向可視
	腔體材料	高純石英
	開啟方式	頂蓋拆卸式
	上下蓋材質(zhì)	304不銹鋼
	抽氣接口	KF25
	進(jìn)氣接口	1/4英寸卡套接頭
電源配置	數(shù)量	直流電源x1
	輸出功率	*大150W
	濺射電源	3000V
	*大濺射電流	50mA
真空系統(tǒng)	真空泵類型	雙極旋片真空泵
	抽氣接口	KF25
	排氣接口	KF16
	抽氣速率	1.1L/s（4m³/h）
	極限真空度	≥1Pa
	真空測(cè)量	電阻真空規(guī)
其　　他	供電電源	AC 220V 50Hz
	整機(jī)功率	1.5kW
	整機(jī)尺寸	570mm X 450mm X550mm
	整機(jī)重量	30kg

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三靶等離子濺射鍍膜儀（基礎(chǔ)型），采用二級(jí)濺射方式，廣泛用于SEM樣品制備或金屬鍍膜試驗(yàn)。采用低溫等離子體濺射工藝，鍍膜過程中無高溫，不易產(chǎn)生熱損傷。

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三靶等離子濺射鍍膜儀（基礎(chǔ)型），采用二級(jí)濺射方式，廣泛用于SEM樣品制備或金屬鍍膜試驗(yàn)。采用低溫等離子體濺射工藝，鍍膜過程中無高溫，不易產(chǎn)生熱損傷。