三靶等離子濺射鍍膜儀（標(biāo)準(zhǔn)型），采用二級濺射方式，廣泛用于SEM樣品制備或金屬鍍膜試驗。采用低溫等離子體濺射工藝，鍍膜過程中無高溫，不易產(chǎn)生熱損傷

產(chǎn)品型號：CY-PLZ180-III-DC-Q
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
更新時間：2025-11-16
訪問量：300

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詳細(xì)介紹

品牌	CYKY	濺射氣體	氬氣
樣品臺尺寸	100mm	控制方式	PIC
樣品倉尺寸	180mm	靶材尺寸	2mm
靶材材質(zhì)	銅,銀，鋁，金	價格區(qū)間	5萬-10萬
產(chǎn)地類別	國產(chǎn)	應(yīng)用領(lǐng)域	電子/電池,道路/軌道/船舶,鋼鐵/金屬,航空航天,汽車及零部件

三靶等離子濺射鍍膜儀（標(biāo)準(zhǔn)型），采用二級濺射方式，廣泛用于SEM樣品制備或金屬鍍膜試驗。采用低溫等離子體濺射工藝，鍍膜過程中無高溫，不易產(chǎn)生熱損傷。該小型等離子濺射儀使用PLC控制系統(tǒng)，全部觸摸屏操作，便于學(xué)習(xí)使用。本型號儀器還配有旋轉(zhuǎn)樣品臺，能夠有效的提升鍍膜的均勻性。（本設(shè)備配有旋轉(zhuǎn)樣品臺，可以提升鍍膜的均勻性）該小型等離子濺射儀使用PLC控制系統(tǒng)，全部觸摸屏操作，便于學(xué)習(xí)使用。設(shè)備體積小巧造型美觀，是實驗室鍍膜試驗的*佳選擇。

技術(shù)參數(shù)：

產(chǎn)品名稱	三靶等離子濺射鍍膜儀（標(biāo)準(zhǔn)型）
產(chǎn)品型號	CY-PLZ180-III-DC-Q
樣品臺	尺寸	100mm
樣品臺	旋轉(zhuǎn)速度	1~20rpm可調(diào)
等離子濺射靶	數(shù)量	2英寸x3
等離子濺射靶	冷卻方式	自然冷卻
真空腔體	腔體尺寸	φ180mm X 210mm
	觀察窗口	全向可視
	腔體材料	高純石英
	開啟方式	頂蓋拆卸式
	上下蓋材質(zhì)	304不銹鋼
	抽氣接口	KF16
	進氣接口	1/4英寸卡套接頭
電源配置	數(shù)量	直流電源x1
	輸出功率	*大150W
	濺射電源	1200V
	*大濺射電流	50mA
真空系統(tǒng)	真空泵類型	雙極旋片真空泵
	抽氣接口	KF16
	排氣接口	KF16
	抽氣速率	1.1L/s（4m³/h）
	極限真空度	≥1Pa
	真空測量	電阻真空規(guī)
其　　他	供電電源	AC 220V 50Hz
	整機功率	1.5kW
	整機尺寸	500mm X 320mm X470mm
	整機重量	30kg

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三靶等離子濺射鍍膜儀（標(biāo)準(zhǔn)型），采用二級濺射方式，廣泛用于SEM樣品制備或金屬鍍膜試驗。采用低溫等離子體濺射工藝，鍍膜過程中無高溫，不易產(chǎn)生熱損傷

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三靶等離子濺射鍍膜儀（標(biāo)準(zhǔn)型），采用二級濺射方式，廣泛用于SEM樣品制備或金屬鍍膜試驗。采用低溫等離子體濺射工藝，鍍膜過程中無高溫，不易產(chǎn)生熱損傷