開腔方式  

升降開腔或前開門，方便放樣及清理  

觀察窗  

設(shè)置多個觀察窗保證能夠觀察到陰陽極及沉積臺  

真空系統(tǒng)  

真空泵  

通過機械泵抽真空，無需配置分子泵  

極限真空  

0.1~1Pa  

抽氣時間  

5~15min  

抽氣孔設(shè)置  

保證抽氣均勻性  

氣壓調(diào)節(jié)范圍  

0.1Pa~30KPa  

放氣閥  

可以恢復(fù)至大氣開腔  

真空規(guī)  

高精度真空規(guī)準確測量腔體氣壓值  

配氣系統(tǒng)  

氣源配置  

氫氣、甲烷 、氮氣、氬氣、氧氣5路氣源，額外預(yù)留一路備用  

氣體流量控制  

體流量通過MFC進行控制，根據(jù)腔體大小選取合適量程的流量計，不同流量大小會影響升壓時間，一般情況下流量比氫氣:甲烷:氮氣:氬氣:氧氣為40:1:1:40:1  

進氣孔設(shè)置  

合理的進氣孔設(shè)置，保證進氣均勻性  

水冷系統(tǒng)  

水冷機功率  

水冷機制冷功率、揚程應(yīng)與設(shè)備發(fā)熱量及冷卻水流量匹配，且溫度可調(diào)，一般設(shè)置在20℃左右  

閥門  

沉積腔體、陰極、陽極都需要進行冷卻，需要設(shè)置分水器，并在分水器上各分路進出水口設(shè)置手動閥門  

工作溫度  

陽極工作溫度為600-1100℃，陰極工作溫度為700-1100℃  

電源  

工作電壓  

600~1200V，輸出電壓可調(diào)  

工作電流  

6~15A  

控制系統(tǒng)  

1)    氣體流量控制；  

2)    電極升降控制，陰陽極間距實時顯示，控制精度1mm；  

3)    陰陽極及襯底溫度監(jiān)測與顯示；  

4)    部分功能可以手動調(diào)節(jié)，如氣壓；  

5)    故障報警，防止誤操作；  

電極  

1)   陽極直徑60mm，材質(zhì)為銅  

2)   陰極直徑80~100mm，材質(zhì)為鉬，長時間使用后，陰極表面易沉積碳從而導(dǎo)致放電不穩(wěn)定，因此需要設(shè)計成可更換結(jié)構(gòu)；  

3)   陰陽極間距可調(diào)，范圍10~60mm，距離實時顯示，調(diào)節(jié)精度1mm;  

4)   陰陽極邊緣可以倒小圓角，防止邊緣放電；  

5)   陽極可以加負偏壓，偏壓范圍0~400V；  

6)   電極邊緣做絕緣處理，防止邊緣放電；