微波系統(tǒng)（法國Sairem 微波源）

微波頻率

2450±25MHz

輸出功率

0.6kw~6kw 連續(xù)可調(diào)

微波調(diào)諧

三銷釘調(diào)配器，模式轉(zhuǎn)換天線

微波反射保護

環(huán)形器，水負載

微波工作模式

TM013

微波泄漏

≤ 2 mw/cm2

真空系統(tǒng)

工作氣壓范圍

10~250Torr

自動穩(wěn)壓范圍

40~250Torr

真空泵

4.4L/s 旋片式真空泵

系統(tǒng)漏率

<1.0x10-9 Pa?m3 /秒 (通過氦質(zhì)譜檢漏儀檢測)

腔體保壓能力

每24 小時壓升小于0.2 乇

本底極限真空

0.1Pa（7.5 x10-4 Torr)

真空測量

品牌薄膜規(guī)

真空反應腔

反應腔材料及結(jié)構(gòu)

雙層水冷不銹鋼反應腔

真空密封

金屬密封+氟膠圈密封(取樣門)

反應腔內(nèi)徑

直徑140mm

樣品臺窗口

105x50mm 長方形端口，帶O 形氟橡膠圈密封的前門

觀察窗口

兩個端口，CF35 大口徑，180°分布

測溫窗口

兩個窗口水平角度25~30°，180°分布；窗口方便從反應腔上部的

斜角向下檢測樣品臺的溫度

樣品臺

電動升降式水冷基片臺

直徑100mm，高度可調(diào)范圍0～70mm

鉬基片臺直徑≥50mm，在5000w, 180Torr 工作狀態(tài)，等離子體火球可覆蓋

整個基片臺

基片臺溫度 250～1400℃（取決于工藝參數(shù)）

氣路

選用日本進口流量計及流量控制閥

系統(tǒng)自帶四路MFC

四路MFC *大流速：H2: 1000sccm，CH4：100sccm，O2：20sccm，N2：2sccm

測溫系統(tǒng)

德國Raytek 紅外測溫系統(tǒng)，測溫范圍：300~1300 攝氏度

系統(tǒng)軟件

配置PLC 控制的15“觸摸顯示屏，用戶操作界面友好，所有操作均可在觸摸

屏上完成

系統(tǒng)支持工程師和操作員兩個用戶級別，提供用戶權(quán)限管理功能

系統(tǒng)自帶缺水，缺氣，電源缺相，火球跳變，過溫過載，打火等自動保護

可設置多達10 套工藝配方，每套配方有40 行數(shù)據(jù)，生產(chǎn)流程通過工藝配方自

動控制，工藝數(shù)據(jù)可通過U 盤備份導出

系統(tǒng)自帶全自動抽氣，點火，升溫，降溫等預設流程，用戶操作簡便

全自動溫度控制，氣壓控制，極大減輕系統(tǒng)操作員的工作量