雙溫區(qū)CVD氣相沉積系統(tǒng)由1200℃雙溫區(qū)管式爐、雙通道質(zhì)量流量計和低噪音雙極旋片真空泵組成。雙溫區(qū)CVD系統(tǒng)管式爐的兩個溫區(qū)分別由精密控溫儀表獨立控溫，通過調(diào)節(jié)各個溫區(qū)的溫度，該管式爐可以在加熱區(qū)內(nèi)形成兩段溫度梯度或是形成較長的恒溫區(qū)域。

產(chǎn)品型號：CY-CVD1200-50-2TH-Q
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
更新時間：2025-11-17
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雙溫區(qū)CVD氣相沉積系統(tǒng)由1200℃雙溫區(qū)管式爐、雙通道質(zhì)量流量計和低噪音雙極旋片真空泵組成。雙溫區(qū)CVD系統(tǒng)管式爐的兩個溫區(qū)分別由精密控溫儀表獨立控溫，通過調(diào)節(jié)各個溫區(qū)的溫度，該管式爐可以在加熱區(qū)內(nèi)形成兩段溫度梯度或是形成較長的恒溫區(qū)域。

雙溫區(qū)CVD氣相沉積系統(tǒng)適用于高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、質(zhì)量檢測等，尤其適合需要多種氣體混合的氣氛環(huán)境的CVD實驗。

雙溫區(qū)CVD系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)：

雙溫區(qū) 管式爐	顯示模式	7英寸觸摸屏
	真空控制	可通過參數(shù)設(shè)置，自動完成抽真空，恒壓工作
	爐管材料	高純石英
	爐管尺寸	直徑：50mm，長度1000mm
	加熱溫區(qū)	兩溫區(qū)
	溫區(qū)長度	200mm+200mm
	工作溫度	室溫～1100℃
	控溫精度	±1℃
	升溫速率	建議10℃/min
	控溫模式	可編程程序控溫
	密封方式	真空法蘭密封
雙通道質(zhì)量流量計	氣體通道	兩通道
	測量儀器	質(zhì)量流量計
	A路量程	氫氣：0～500SCCM
	B路量程	氬氣：0～1000SCCM
	連接管道	拋光不銹鋼管
	氣體緩沖器	1000ml
	工作壓力	≦3Mpa
	工作壓差	0.3MPa
	管道接口	6.35mm卡套接頭
真空泵	抽氣接口	KF25
	排氣接口	KF25
	抽氣速率	24立方米/小時
	極限真空	5.0E-2Pa
	電機功率	1100W
	電機轉(zhuǎn)速	1440轉(zhuǎn)/分鐘
真空計	傳感器類型	皮拉力
	真空量程	1.0E-1Pa～1.0E5Pa
	安裝方式	豎直放置
	工作電壓	DC24V
相關(guān)配件	連接管道	KF25波紋管1米長
	聚四氟管5米
	石英爐管1根
	爐管塞子4個
	爐鉤1支
	防護手套1雙
	真空法蘭1套（帶密封圈、針閥、氣路接頭）

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