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當(dāng)前位置:首頁  >  產(chǎn)品中心  >    >  CVD氣相沉積系統(tǒng)  >  CY-CVD1200-50-400-3TH-Q1200℃高真空CVD氣相沉積系統(tǒng)

1200℃高真空CVD氣相沉積系統(tǒng)
簡(jiǎn)要描述:

1200℃高真空CVD氣相沉積系統(tǒng) 是一種用于制備高性能固體材料薄膜的技術(shù)。其核心原理是:將含有構(gòu)成薄膜元素的一種或幾種氣態(tài)反應(yīng)物通入反應(yīng)室,在基片(如硅片)表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng),并生成固態(tài)薄膜沉積下來。

  • 產(chǎn)品型號(hào):CY-CVD1200-50-400-3TH-Q
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2025-11-17
  • 訪  問  量:268

詳細(xì)介紹

品牌CYKY

1200℃高真空CVD氣相沉積系統(tǒng)由單溫區(qū)管式爐、三路質(zhì)量流量計(jì)和高真空分子泵租組成。管式爐由精密控溫儀表進(jìn)行PID控溫,可編輯30段升降溫程序,同時(shí)有過熱和斷偶保護(hù)功能。爐管兩側(cè)法蘭配有數(shù)字式真空計(jì)和機(jī)械式壓力表,可以用來控制路管內(nèi)的氣氛環(huán)境。同時(shí)1200℃單溫區(qū)3路質(zhì)量供氣高真空CVD系統(tǒng)管式爐采用高清真彩觸控屏操作,簡(jiǎn)單易上手,即使是非專業(yè)人員經(jīng)過簡(jiǎn)單的培訓(xùn)也可以熟練掌握儀器的使用方法,能夠極大的提高您的實(shí)驗(yàn)效率。

1200℃高真空CVD氣相沉積系統(tǒng)由單溫區(qū)管式爐、三路質(zhì)量流量計(jì)和高真空分子泵租組成。管式爐由精密控溫儀表進(jìn)行PID控溫,可編輯30段升降溫程序,同時(shí)有過熱和斷偶保護(hù)功能。爐管兩側(cè)法蘭配有數(shù)字式真空計(jì)和機(jī)械式壓力表,可以用來控制路管內(nèi)的氣氛環(huán)境。同時(shí)1200℃單溫區(qū)3路質(zhì)量供氣高真空CVD系統(tǒng)管式爐采用高清真彩觸控屏操作,簡(jiǎn)單易上手,即使是非專業(yè)人員經(jīng)過簡(jiǎn)單的培訓(xùn)也可以熟練掌握儀器的使用方法,能夠極大的提高您的實(shí)驗(yàn)效率。  

      系統(tǒng)所配有的三路質(zhì)量流量計(jì),精度高可靠性強(qiáng),可以混合1-3路氣體,操作面板采用數(shù)字顯示,直觀高效,若客戶有特殊需要也可以聯(lián)系技術(shù)人員定制任意數(shù)量的氣路。   

適用范圍: 

適用于高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、質(zhì)量檢測(cè)等,尤其適合需要多種氣體混合的氣氛環(huán)境的CVD實(shí)驗(yàn)。  


技術(shù)參數(shù):  

真  

空  

管  

式  

爐  

產(chǎn)品型號(hào)  

CY-O1200-50IT  

爐管材質(zhì)  

高純石英  

爐管直徑  

50mm(可選配60mm、80mm、100mm)  

爐管長(zhǎng)度  

800mm  

爐膛長(zhǎng)度  

440mm  

加熱區(qū)長(zhǎng)  

400mm  

恒溫區(qū)長(zhǎng)  

200mm  

工作溫度  

0~1100℃  

控溫精度  

±1℃  

控溫模式  

30段或50段程序控溫  

顯示模式  

LCD  

密封方式  

304不銹鋼真空法蘭  

法蘭接口  

1/4英寸卡套接頭、KF16/25/40接頭  

可抽真空  

4.4E-3Pa  

供電電源  

AC:220V 50/60Hz  

供  

氣  

系  

統(tǒng)  

產(chǎn)品型號(hào)  

CY-3Z  

氣體通道  

3通道  

測(cè)量部件  

氣體質(zhì)量流量計(jì)  

測(cè)量量程  

A通道:0~100SCCM    H2氣  

備注:如需其它量程或氣體種類,定貨時(shí)需要特別注明。可根據(jù)客戶的具體要求來選配對(duì)應(yīng)的氣體種類和量程的流量計(jì)。  

B通道:0~300SCCM    N2氣  

C通道:0~500SCCM    Ar氣  

測(cè)量精度  

±1.0%F.S  

管道耐壓  

3MPa  

工作壓差  

50~300KPa  

連接管道  

304不銹鋼  

控制閥門  

304不銹鋼針閥  

接口規(guī)格  

進(jìn)氣口和出氣口為1/4英寸卡套接頭  

供電電源  

AC:220V 50/60Hz  

排  

氣  

系  

統(tǒng)  

產(chǎn)品型號(hào)  

CY-GZK103-A  

分子泵  

CY-600  

前極泵  

旋片泵  

抽氣速率  

分子泵:600L/S  

綜合抽氣性能:20分鐘真空度可達(dá):1.0E-3Pa  

旋片泵:1.1L/S  

抽氣接口  

KF40  

排氣接口  

KF16  

真空測(cè)量  

復(fù)合真空計(jì):電阻規(guī)+電離規(guī)  

極限真空  

1.0E-5Pa  

供電電源  

AC:220V 50/60Hz  


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