晶圓勻膠機(jī)主要適用于液體、膠狀體、可流動(dòng)糊狀體等薄膜材料的使用，能夠在瞬間提供可控的高速轉(zhuǎn)數(shù)，迅速使液體、膠狀體等材料在襯底上均勻地形成薄膜。CY-SVC真空程控型勻膠機(jī)操作簡(jiǎn)單、清理方便，體積小巧，因此該設(shè)備被廣泛應(yīng)用于各大專院校及科研院所當(dāng)中。

晶圓勻膠機(jī)工作時(shí)將樣品用粘接的方法固定在載樣盤上，然后開(kāi)動(dòng)勻膠機(jī)將設(shè)備轉(zhuǎn)數(shù)設(shè)置在一定的轉(zhuǎn)數(shù)范圍內(nèi)，在此轉(zhuǎn)數(shù)范圍內(nèi)設(shè)置一定的注膠時(shí)間對(duì)樣品進(jìn)行注膠，注膠結(jié)束后勻膠機(jī)會(huì)提升轉(zhuǎn)數(shù)限轉(zhuǎn)數(shù)進(jìn)行勻膠，在勻膠之前要對(duì)勻膠時(shí)間進(jìn)行設(shè)置，當(dāng)勻膠時(shí)間結(jié)束后機(jī)器自動(dòng)停止運(yùn)轉(zhuǎn)，涂膜的整個(gè)過(guò)程結(jié)束。  

技術(shù)參數(shù)：  

轉(zhuǎn)速精度：1RPM  

目標(biāo)轉(zhuǎn)速：<5000RPM

加速度：<5000RPM/S(視扭矩大?。?/span>

內(nèi)腔抽真空負(fù)壓：<-0.06MPa  

多步運(yùn)行：100組100步  

單步長(zhǎng)：3000S  

時(shí)間分辨率：0.1S  

特性優(yōu)點(diǎn)：  

75W直流無(wú)刷電機(jī)，單片機(jī)控制  

高清晰文本顯示器  

可單步和多步勻膠操作  

防堵膠設(shè)計(jì)  

PP耐腐蝕內(nèi)腔，可更換  

耐溶劑PC透明蓋  

耐腐蝕易清潔PP外殼  

多角度定位鉸鏈設(shè)計(jì)  

鋁質(zhì)合金真空吸盤  
 

免責(zé)聲明：  

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