耐腐蝕柜式勻膠機旋涂儀特點：  

1. 耐腐蝕PP全柜式獨立勻膠臺  

2.勻膠機底部帶廢膠收集，頂部帶抽風(fēng)功能  

3.可升級自動點膠功能，適合工業(yè)化生產(chǎn)  

4.集成觸摸屏控制，上下移動式透明觀察窗  

5.使用伺服電機系統(tǒng)，性能穩(wěn)定，滿足工業(yè)要求  

耐腐蝕柜式勻膠機旋涂儀參數(shù)：  

1.旋涂程序：至多存100組程序，每組100步，每個步驟可**到0.1秒  

2.轉(zhuǎn)動速度：0-5000rpm（更高速可選），考慮重片或大片旋涂safety限定為5000rpm  

3.旋涂加速度：0-10000rpm/sec（更高可選），考慮重片或大片旋涂safety限定為10000rpm/s  

4.馬達旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差：< ±1rpm  

5.轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度和重復(fù)性：1rpm  

6.工藝時間設(shè)定： 0-3000 sec/step，時間設(shè)置精度：0.1sec  

7.支持晶圓尺寸25px-300mm（12“圓晶）  

8.旋涂作業(yè)均勻性：< ±3% 在6英寸范圍內(nèi)（需要去除邊緣3毫米區(qū)域測量）  

9..可配備多路自動點膠功能，點膠流速0.006-990ml/min可調(diào)  

10.標配三種規(guī)格真空載物盤，其它尺寸可定制設(shè)計  

11.可配備多路自動點膠功能，點膠流速0.006-990ml/min可調(diào)  

12.標配三種規(guī)格真空載物盤，其它尺寸可定制設(shè)計  

13.外型尺寸：1200mm(W)*800mm(D)*2300mm(H)  

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