大功率程控伺服勻膠機旋涂儀是一種小型、靈活和經(jīng)濟的旋轉(zhuǎn)勻膠設(shè)備，它可以實現(xiàn)在價值百萬美元的設(shè)備上才可能達(dá)到的穩(wěn)定性和均勻性，大功率程控伺服勻膠機能夠處理12寸以內(nèi)的圓晶基片。

大功率程控伺服勻膠機旋涂儀主要特點：

機身采用不銹鋼外殼比塑料或者烤漆金屬更耐久和美觀；

工業(yè)級別400瓦伺服電機系統(tǒng)，采用于trCYk設(shè)備相同設(shè)計和程序，使您的工藝更具有實際應(yīng)用意義；

可達(dá)到50000rpm/s的旋轉(zhuǎn)加速度，確保旋轉(zhuǎn)勻膠的穩(wěn)定性和的可重復(fù)性。

大功率程控伺服勻膠機技術(shù)參數(shù)：

旋涂程序：可以至多存儲100組程序，每組100步，每個步驟可到0.1秒

轉(zhuǎn)動速度：0-5000rpm（更高速可選），考慮重片或大片旋涂safety限定為5000rpm

旋涂加速度：0-10000rpm/sec（更高可選），考慮重片或大片旋涂safety限定為10000rpm/s

馬達(dá)旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差：<±1rpm

轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度和重復(fù)性：1rpm

工藝時間設(shè)定：0-3000 sec/step，時間設(shè)置精度：0.1sec

支持wafer尺寸25px-300mm（12''圓晶）

旋涂作業(yè)均勻性：<±3%在6英寸范圍內(nèi)（需要去除邊緣3毫米區(qū)域測量）

CY-HP-PC-S大功率程控伺服勻膠機優(yōu)點：

內(nèi)部緊湊設(shè)計，縮小了設(shè)備的尺寸。

7"觸屏控制面板操作系統(tǒng)，更方便操作。

Telon ®/polyethylene“密閉碗"設(shè)計可適合各種材料勻膠工藝。

標(biāo)準(zhǔn)配置轉(zhuǎn)速5000rpm，并可根據(jù)用戶需要進行定制。

采用工業(yè)級別伺服電機，電機設(shè)計避免光刻膠等污染物進入電機內(nèi)部。

機身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼，生銹，便于清洗。

排風(fēng)和抽氣系統(tǒng)位于載片臺之底部 （以利于排風(fēng)效率和勻膠均一性）。

透明可視，耐化學(xué)腐蝕的密封蓋，可以在旋涂作業(yè)時隔絕光阻的溢出及有效隔絕有毒氣味的散發(fā)。

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