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加熱型勻膠機旋涂儀
簡要描述:

加熱型勻膠機旋涂儀主要利用離心涂覆原理將液態(tài)或膠體材料涂覆在硅片、晶體、石英、陶瓷等基片上形成薄膜,該工藝在材料研究領域有著廣泛的應用

  • 產品型號:CY-SPC8-SS
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2025-11-16
  • 訪  問  量:224

詳細介紹

品牌CYKY

加熱型勻膠機旋涂儀主要利用離心涂覆原理將液態(tài)或膠體材料涂覆在硅片、晶體、石英、陶瓷等基片上形成薄膜,該工藝在材料研究領域有著廣泛的應用。本加熱型勻膠機的工作腔體為聚四氟(塑料王)材質,它是由四氟乙烯經聚合而成的高分子化合物,具有優(yōu)良的化學穩(wěn)定性和的耐腐蝕性,已廣泛應用于各種需要抗酸堿和有機溶劑的場合。本加熱型勻膠機內安裝有真空數(shù)字傳感器,涂敷過程中可實時檢測系統(tǒng)真空度,控制器必須在合適的真空度下電機才可以正常啟動和運行。這樣可以有效保障:可靠吸片并杜絕飛片事故的發(fā)生

加熱型勻膠機旋涂儀采用全鋁合金腔體,美觀堅固。儀器采用的精密電機,轉速能達到10000轉/分,有效的保障了成膜的均勻性。除了基本的旋涂功能,本品還配有加熱組件,可以加熱到200℃,由智能溫控表控溫,溫度測定準確,升溫過程可控。另外本儀器采用觸控屏控制,可以預設勻膠曲線,大大簡化了使用過程降低了學習成本,十分適合實驗室選購。 加熱型旋轉涂覆儀  加熱型旋轉涂覆儀可以將液態(tài)或膠體材料涂覆在硅片、晶體、石英、陶瓷等基片上形成薄膜,主要應用于光刻膠旋涂、生物培養(yǎng)基制作、溶膠凝膠法制作高分子薄膜等領域。

加熱型旋轉涂覆儀技術參數(shù):  

 

項目  

明細  

旋涂儀  

供電電壓  

AC220V50Hz  

轉速  

0~10000rpm  

加速度  

100~5000rpm/s  

轉速分辨率  

1rpm  

單步時間  

3000s  

基片尺寸  

直徑≤8英寸(200mm  

腔體材質  

鋁合金  

加熱溫度  

200  

控溫方式  

AIP智能控溫  

操作方式  

7寸高清LCD觸控屏  

滴膠方式  

手動滴膠,可選購精密注射泵  

勻膠曲線  

每條曲線5段,共可儲存5條曲線  

抽氣接口  

φ6mm 快擰接口  

整機尺寸  

290mm×365mm×300mm  

整機重量  

12kg  

排氣系統(tǒng)  

真空泵  

干式機械泵  

抽氣速率  

50L/min  

供電電源  

AC220V  50/60Hz  


免責聲明  

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